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Atzverfahren fur die Mikrotechnik By Dr. Michael Kohler(auth.)
1998 | 410 Pages | ISBN: 3527288694 | PDF | 8 MB
Content: Chapter 1 Einfuhrung (pages 1-3): Chapter 2 Besonderheiten mikrotechnischer Atzprozesse (pages 5-32): Chapter 3 Na?atzverfahren: Abschnitte 3.1 ? 3.4 (pages 33-96): Chapter 3 Na?atzverfahren: Abschnitte 3.5 ? 3.6 (pages 96-126): Chapter 4 Trockenatzverfahren (pages 127-197): Chapter 5 Mikroformgebung durch Atzen von lokal verandertem Material (pages 199-205): Chapter 6 Ausgewahlte Vorschriften (pages 207-369):

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